三维微螺线管型磁通门传感器的研制.pdf

磁通门传感器的研究起始于世纪年代，人们利用磁性材料自身磁饱和特性制作出磁通门磁强计，被用来测量以下的直流或低频交流磁场。但是传统机械技术制作的磁通门传感器体积大，质量大，难以应用于集成电路。随着技术的发展，人们使用技术和技术来制作微型磁通门传感器。这些微型磁通门传感器具有体积小，质量轻，易于集成，可以批量生产等优点而广泛应用于导航系统和太空探测中。目前磁通门传感器的研究和应用主要集中在平面结构。但是随着技术进步和要求的不断提高，平面线圈型的灵敏度等在很多情况下不能满足要求。为此，我们设计了一种微螺线管型电感器，这种磁通门传感器具有闭合正方形磁芯，磁芯上用技术制作有缠绕磁芯的励磁线圈、检测线圈，可以同时探测轴和轴方向的弱磁场强度，集合了单芯磁通门、双芯磁通门和环芯磁通门的功能和优点，理论上具有更高的灵敏性和测量范围。并且由于结构上设计的新颖性，可以根据不同的连接方式得到单轴单芯，单轴双芯，双轴双芯及含补偿方式的磁通门传感器，可以充作不同的用途。论文的工作主要包括如下三部分：)微型磁通门电磁传感器的研究现状和工作原理。)三维微螺线管型电磁传感器结构介绍。根据磁通门传感器的工作原理，我们设计了一种新颖的结构，具有厚约μ，外形是正方形的闭合镍铁合磁芯，磁芯被封装在作为绝缘层和支撑层的一负胶中。磁芯上共有组线圈缠绕(每边圈，每圈匝)，线圈的功能可根据需要分别充作励磁线圈、检测线圈、补偿线圈。)三维微螺线管型电磁传感器的制作。利用了三维制作技术(包括紫外曝光技术、微结构尺寸电镀技术、干法刻蚀技术、湿法刻蚀技术及溅射镀膜技术等)制作出切割尺寸为μ&#;μ的三维微螺线管型电磁传感器。